โฟโตลิโทกราฟีนิยมใช้ เพื่อผลิตชิปคอมพิวเตอร์ ในการผลิตชิปคอมพิวเตอร์ วัสดุซับสเตรตคือแผ่นเวเฟอร์เคลือบความต้านทานของซิลิกอน กระบวนการนี้ทำให้สามารถสร้างชิปได้หลายร้อยชิปบนเวเฟอร์ซิลิกอนเดียว
โฟโตลิโตกราฟีทำอย่างไร
Photolithography ใช้สามขั้นตอนกระบวนการพื้นฐานในการถ่ายโอนรูปแบบจากหน้ากากไปยังเวเฟอร์: เคลือบ พัฒนา เปิดโปง รูปแบบจะถูกถ่ายโอนไปยังชั้นผิวของเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการที่ตามมา ในบางกรณี รูปแบบต้านทานยังสามารถใช้เพื่อกำหนดรูปแบบสำหรับฟิล์มบางที่ฝากไว้
ทำไมเรียกว่า photolithography
หินพิมพ์เซมิคอนดักเตอร์ (Photolithography) - กระบวนการพื้นฐาน . การผลิตวงจรรวม (IC) ต้องใช้กระบวนการทางกายภาพและเคมีที่หลากหลายบนเซมิคอนดักเตอร์ (เช่น ซิลิกอน) ซับสเตรต … คำว่า lithography มาจากภาษากรีก lithos หมายถึงหิน และ graphia หมายถึงการเขียน
ทำไมการพิมพ์หินจึงสำคัญ
การพิมพ์หินคือ กระบวนการถ่ายโอนรูปแบบของรูปทรงเรขาคณิตในหน้ากากไปยังชั้นบาง ๆ ของวัสดุที่ไวต่อรังสี (เรียกว่าความต้านทาน) ที่ปกคลุมพื้นผิวของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ รูปที่ 5.1 แสดงแผนผังของกระบวนการพิมพ์หินที่ใช้ในการผลิต IC
วิธีใดที่ใช้กันอย่างแพร่หลายที่สุดในวิธีการพิมพ์หิน
ออปติคอลlithography เป็นเทคนิคที่ใช้โฟตอนซึ่งประกอบด้วยการฉายภาพให้เป็นอิมัลชันไวแสง (photoresist) ที่เคลือบบนพื้นผิวเช่นเวเฟอร์ซิลิกอน เป็นกระบวนการพิมพ์หินที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตนาโนอิเล็กทรอนิกส์ปริมาณมากโดยอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์