ในปี 1948–1950 Raimond Castaing ดูแลโดย Andre Guinier สร้างอิเล็กตรอนตัวแรก “microsonde électronique” (electron microprobe) ที่ ONERA
อิเล็คตรอนไมโครโพรบใช้ทำอะไร
เครื่องวิเคราะห์ไมโครโพรบอิเล็กตรอนเป็นเครื่องมือไมโครบีมที่ใช้เป็นหลักสำหรับ การวิเคราะห์ทางเคมีแบบไม่ทำลายในแหล่งกำเนิดของตัวอย่างของแข็งนาที EPMA เรียกอย่างไม่เป็นทางการว่าอิเล็กตรอนไมโครโพรบหรือเพียงแค่โพรบ โดยพื้นฐานแล้วเหมือนกับ SEM ที่มีความสามารถในการวิเคราะห์ทางเคมีเพิ่มเติม
การวิเคราะห์อิเล็กตรอนไมโครโพรบคืออะไร
การวิเคราะห์ไมโครโพรบอิเล็กตรอน (EMPA) ให้ข้อมูลเกี่ยวกับองค์ประกอบทางเคมีของแร่ธาตุและความสัมพันธ์ของแร่ธาตุเหล่านี้ในเซรามิกส์ทางโบราณคดี โดยใช้ลำแสงอิเล็กตรอนแคบเพื่อกระตุ้นการปล่อยรังสีเอกซ์
ไมโครสโคปเป็นไมโครโพรบชนิดใด
ไมโครโพรบอิเล็กตรอนติดตั้ง กล้องจุลทรรศน์แบบออปติคัล โคแอกเชียลกับลำแสงอิเล็กตรอนที่จัดเรียงในลักษณะที่เมื่อพื้นผิวของชิ้นงานทดสอบอยู่ในโฟกัสแบบออปติคัลด้วยกล้องจุลทรรศน์/กล้องแบบออปติคัลในตัว มันยังอยู่ในโฟกัสเอ็กซ์เรย์ เช่น มันอยู่บนวงกลมโรว์แลนด์
ใครเป็นผู้คิดค้น SEM
การใช้อิเล็กตรอนซึ่งมีความยาวคลื่นสั้นกว่าแสงมาก เป็นไปได้ที่จะแก้ไขวัตถุแต่ละชิ้นด้วยกำลังขยายที่มากกว่ามาก สี่ปีต่อมา Max Knoll ค้นพบวิธีการกวาดลำอิเล็กตรอนเหนือพื้นผิวของตัวอย่าง สร้างภาพกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด (SEM) ตัวแรก